인피니티시마, 메트론3D 인라인 웨이퍼 계측 시스템 고도화 프로젝트 착수

인피니티시마(Infinitesima)가 ASML을 비롯한 파트너사와 함께 공동 개발 프로젝트에 착수한다고 23일 발표했다. 

향후 3년에 걸쳐 진행되는 이번 프로젝트를 통해 이들 기업은 메트론3D(Metron3D) 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템을 활용해 하이브리드 본딩, 고개구율(high-NA) 극자외선(EUV) 리소그래피, 상보성 전계효과 트랜지스터(complementary field-effect transistor, CFET)와 같은 차세대 3D 로직 반도체 구조 등의 연구를 추진한다.

이 프로젝트는 인피니티시마의 RPM(Rapid Probe Microscope) 기술과 각 파트너사의 전문 역량을 결합해 고속 이미징, 간섭계 수준의 정밀도, 깊이 있는 3차원(3D) 표면 분석에 대한 연구를 추진한다.

이 프로젝트의 일환으로 인피니티시마는 나노일렉트로닉스 및 디지털 기술 분야의 세계적인 연구·혁신 허브인 아이맥(imec)에 장비를 설치할 예정이다. 이렇게 설치된 시스템은 ASML을 포함한 파트너사들이 차세대 디바이스 개발을 가속화하고 high-NA EUV 레지스트의 이미징 특성 분석 및 기술 개발을 지속하는 데 활용된다. 

인피니티시마는 imec과의 긴밀한 협력을 통해 새로운 장비 기능을 개발 및 향상해 나갈 계획이다. 이번 협력은 미래형 반도체 디바이스 제조를 위한 핵심 기술인 진정한 3D 공정 제어 구현을 목표로 하고 있다.

인피니티시마와 imec의 파트너십은 인피니티시마의 RPM 기술을 활용한 팁 유도 나노스케일 단층 촬영 감지 기능의 연구 및 고장 분석 분야에 대한 적용 프로젝트로 2021년에 처음 시작됐다.

이번에 새로 시작한 협력은 인피니티시마와 imec 간 파트너십을 고속 인라인 생산 계측 분야로 확장하는 것으로 나노미터(nm) 이하 수준의 특성과 점점 더 복잡해지는 3D 구조에 대한 반도체 업계의 정밀 검사 및 계측 요구에 대응하기 위한 것이다.

인피니티시마 피터 젠킨스 회장 겸 CEO는 “imec과의 기존 협력을 확장해 차세대 반도체 공정의 핵심 단계에서 직면하는 중요한 계측 과제들을 지원하게 돼 기쁘다”고 밝혔다.

인피니티시마는 이번 파트너십 확장을 통해 인라인 반도체 계측 분야에서의 선도적 입지를 강화하고 점점 더 미세화하고 복잡한 디바이스 아키텍처로 나아가는 반도체 업계의 진화를 뒷받침할 예정이다.