‘전장반도체 양산에 최적화’…KLA, 패턴·비패턴 웨이퍼 검사 시스템 3종 공개

[IT비즈뉴스 최태우 기자] KLA가 차량용 반도체(전장반도체) 양산에 최적화된 칩 제조를 위한 신제품(웨이퍼 검사 시스템 3종, 인라인 선별 솔루션 1종) 4종을 새로 공개했다. 

오늘날 완성차 업계는 전기차(EV), 연결성, 첨단운전자지원시스템(ADAS) 및 자율주행 혁신에 중점을 두고 있다. 

빠르게 전장화가 진행되고 있으며 탑재되는 칩 또한 크게 늘고 있다. 전장반도체는 차량 운용과 안전을 답보한 응용 애플리케이션의 핵심요소로 신뢰성이 중요해 엄격한 품질표준을 충족해야 한다. 

KLA이 새롭게 선보이는 서프스캔(Surfscan) SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사 시스템, 8935 고생산성 패턴 웨이퍼 검사 시스템, C205 광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 검사 시스템과 I-PAT 인라인 스크리닝(결함부품 선별) 솔루션은 칩 수율 확보와 품질 표준을 준수하는 차세대 시스템이라는 게 사측 설명이다.

4종 신제품 중 3종 검사장비는 자동차 산업의 더 큰 설계 노드 제조를 위한 보완적인 결함 검출과 모니터링 및 제어 솔루션으로 구성됐다.

Surfscan SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사기는 심자외선(Deep Ultra Violet, DUV) 광학 및 고급 알고리즘을 통합해 전장반도체의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있는 공정결함을 빠르게 식별하고 설비가 최고 성능으로 작동하는데 필요한 감도와 속도를 갖춘 점이 특징이다.

C205 패턴 웨이퍼 검사기는 R&D 및 양산과정에서 광대역 입사광 및 나노포인트(NanoPoint) 기술을 활용해 중대한 결함을 고감도로 찾아내도록 설계됐다.

8935 패턴 웨이퍼 검사기는 양산과정에서 새로운 광학 기술과 디펙트와이즈(DefectWise) 기술을 활용해 다양한 중대 결함을 검출하면서 품질 안전성 확보에 기여한다.

I-PAT는 KLA 검사 및 데이터 분석 시스템에서 실행되는 인라인 선별 솔루션이다. I-PAT는 중요 공정 단계에서 8935를 포함한 고속 8시리즈 검사기나 퓨마(Puma) 레이저 스캐닝 검사기로 모든 웨이퍼에서 데이터를 수집하고 결함 특성을 추출한다. 

이후 스팟(SPOT) 생산 플랫폼의 맞춤형 기계 학습 알고리즘과 클래리티(Klarity) 결함 관리 시스템의 통계분석 기능을 활용해 이상 결함군을 빠르게 식별, 불량 반도체 칩을 공급망에서 제거하는 구조로 운용된다.

오레스테 돈젤라 KLA EPC 사업부 총괄부사장은 “각 제품은 전장시스템을 구성하는 반도체 칩, 소자, 인쇄회로기판 및 디스플레이에서 높은 수율과 신뢰성, 탁월한 성능을 제공하는 데 초점이 맞춰져 설계된 솔루션”이라고 설명했다.