[IT비즈뉴스 최태우 기자] 국가과학기술연구회(NST)가 13일 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 ‘반도체 플라스마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증’ 과제(플라스마 공정장비 지능화 융합연구단)를 선정했다고 밝혔다.

플라스마 융합연구단에는 반도체 플라스마 공정장비 지능화 기술 개발과 실증을 목표로 6년 간 440억원이 투입된다.

내달 1일부터 전북 군산시 소재 국가핵융합연구소 플라스마기술연구센터에서 연구를 시작한다.

융합연구단에는 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원 등 정부 출연연구기관과 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대 등 7개 대학의 반도체 장비산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

윤정식 단장(국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 연구개발(R&D) 테스트베드를 구축해 국산 장비의 기술 경쟁력을 높이고 세계시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라고 말했다.

원광연 NST 이사장은 “반도체장비의 해외 의존도가 높은 상황에서 플라스마 융합연구단이 국산 반도체 공정장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 기대한다”고 말했다.