[IT비즈뉴스 최태우 기자] 나노종합기술원이 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료하고 17일부터 국내 산·학·연 이용자를 대상으로 서비스를 시작한다.

과학기술정보통신부는 2019년 7월 일본정부의 수출규제 후 종기원을 반도체 소부장(소재/부품/장비) 12인치 테스트베드 운영 기관으로 지정한 바 있다.

종기원은 국비 450억원을 투입해 청정실과 핵심장비 10대를 구축하고 장비 안정화 작업을 준비해왔다.

일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업은 삼성전자, SK하이닉스 등 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 평가결과를 획득하는데 한계가 있었다.

향후 국내 반도체 소부장 기업은 17일부터 종기원의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 활용할 수 있게 된다. 반도체분야 소부장 기술 자립화에 소요되는 시간과 비용도 획기적으로 절감할 수 있다고 종기원은 설명했다.

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40나노(nm) 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로 감광제 등 반도체 핵심소재와 장비개발을 집중적으로 지원할 예정”이라며 “향후 20나노급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비 구축과 공정기술 개발도 추진할 계획”이라고 말했다.

과기정통부 김봉수 기초원천연구정책관은 “국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업인 반도체는 대기업과 다양한 소부장 중소기업, 대학·출연연 연구자들이 협업하는 대규모 생태계를 갖추고 있는 분야”라며 “향후 반도체 분야의 발전을 위해 원천 연구지원과 병행해 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자도 확대하겠다”고 밝혔다.