큐알티(QRT)가 TLP(Transmission Line Pulse) 장비를 활용한 정전기방전(Electro-Static Discharge, ESD) 신뢰성 서비스 강화에 나선다고 22일 밝혔다.

TLP 장비는 정전기 방지를 위해 반도체 내부에 설계된 ESD 보호회로가 공정에 따라 설계 영역(ESD Design Window)에서 정상 동작하는지 평가·분석하기 위해 주로 사용된다. ESD 현상이 발생하면 보호회로가 견딜 수 있는 최대 전류, 전압, 저항값 등을 구체적인 데이터로 구현한다.

TLP 장비를 통해 확보된 데이터는 반도체 개발 단계에서 발생하는 ESD 관련 신뢰성 문제를 사전에 파악해 보호회로의 성능을 높이는 데 쓰인다. TLP는 웨이퍼레벨, 패키지레벨에서도 소자·회로평가가 가능해 ESD 불량 원인 분석에 널리 활용되고 있다.

큐알티는 “TLP 장비 도입을 통해 ESD 신뢰성 평가의 분석 수준을 한 단계 끌어올릴 수 있게 됐다”고 설명했다.

기존 ESD 평가장비의 경우 정전기 현상을 모사하는 HBM(Human Body Model) ESD 테스트를 기반으로 사후 전기적 특성검사(Post Electrical Test) 결과를 활용해 특정 레벨의 패스(Pass), 페일(Fail) 여부만 제공했다.

큐알티는 기본적인 평가인증을 포함해 TLP 장비를 통해 세부 결과 데이터를 기반으로 ESD 불량원인 분석과 컨설팅도 제공할 계획이다.

김동성 큐알티 책임연구원은 “전자제품 소형화 및 반도체 고집적화로 불량 가능성이 커지면서 ESD 신뢰성 평가의 중요성도 커졌다”며 “정전기가 발생하면 반도체가 영구적인 손상을 입을 수 있다. TLP 기반의 ESD 신뢰성 평가를 통해 안전성 검증에 필요한 데이터를 확보할 것”이라고 전했다.